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由DAS Environmental Expert提供的废气处理解决方案

“源自德國”,專為台灣高科技產業所開發的廢氣處理技術

高科技產業如半導體、太陽能、LED和FPD等使用的製程氣體多為易燃、易爆氣體 (如H2、SiH4) 或有毒氣體 (如COF2、HBr、F2),這些氣體在接觸人類或野生生物前必須經過處理。同時,有些氣體還會對環境造成污染,例如,CF4能在大氣中存在約50,000年,溫室效應比CO2高6,500倍。許多廢氣的氣流中含有大量顆粒或粉塵,極可能干擾設備排放氣體, 導致製造工廠的系統無法運作, 甚至於必需停工。

自1991年起,DAS達思一直致力於研發和生產客製化的使用端(Point of Use)廢氣處理設備。回首過去可以發現: DAS達思廢氣處理設備始终跟隨市場上的創新趨勢,同時不斷的滿足客户對於新製程的需求。 為了協助客户達到廢氣減排的目的,我們提供了ESCAPE、STYRAX®、 UPTIMUM和GIANT等燃燒/水洗式產品線,以及AQUABATE和SALIX® 等水洗式產品線,而LARCH® 則是MOCVD製程最有效的廢氣解决方案。以靜電集塵及冷凝分離方式設計的EDC及JUNIPER, 則為可有效清除含高粉塵的廢氣處理系统。而達思生產的監控系统DASMON可以確保,即使在廠區內同時有數百台廢氣處理系统,也能做到全天候的監控。

達思的廢氣處理設備在全球的半導體產業中已經使用超過20餘年,同時符合並通過了最高的品質及工安標準《德國空氣污染法》(TA Luft)的嚴苛要求。基於這些核心競爭力,我們為多種不同產業研發並生產從1 m³/h到3600 m³/h廢氣流量的使用端(Point of Use)廢氣處理設備。基本上,達思的廢氣處理設備能處理可冷凝的、可燃燒的、有腐蝕性的、易起反應的、有毒的、和/或易自燃的氣體(如:矽甲烷、有機矽甲烷、松油醇、氫、氨或鹵化氫)和微細粉塵。

處理工業廢氣的原因

  • 確保製程穩定與設備正常運作
  • 保護人類
  • 保護環境

为半导体行业提供的废气处理

為半導體產業提供的廢氣處理

20世紀90年代早期,半導體產業缺乏適當且全面的廢氣處理技術解決方案。從過去到今日,該產業一直使用有害製程氣體,其產生的廢氣必需經過有效的處理。常見製程包括:

  • 薄膜製程
  • 磊晶製程
  • 蝕刻製程
  • 晶圓清洗製程

常見氣體/主要成分為 CF4、SF6、C4F8、SiH4、NH3、TEOS、NF3、H2、SiH2Cl2、GeH4、IPA 和 HF。

为光伏行业提供的废气处理

為太陽能產業提供的廢氣處理

太陽能被視為“綠色科技”,但多年來,絕大部分以矽為原料製作太陽能電池的生產過程,都採用了半導體業界中司空見慣的處理步驟。與半導體業一樣,太陽能電池的生產過程可能使用了會污染環境的有害物質,根據相關法律規定其需進行有效的處理。常見製程包括:

  • CVD製程
  • TCO製程
  • 烘乾製程

常見氣體/主要成分為 SiH4、NH3、DEZ 與松油醇。

为LED行业提供的废气处理

為LED產業提供的廢氣處理

在為手機小型液晶螢幕及電視市場的大液晶螢幕提供LED背光之後,下一個潛在成長市場將是照明產業。LED的廣泛應用意味著廢氣排放量增加,其極需專門的廢氣處理系統來進行處理淨化。常見製程為MOCVD。

為其他產業及製程提供的廢氣處理

DAS為部分產業提供靜電系統,以減少有機物排放 (揮發性有機複合物),並處理粉塵。如:

  • 化工業
  • 造紙業
  • 塑料回收

環保科技 – 源自德國,生根台灣

Alex Shen 達思台灣總經理沈森永

«持續於環保技術的開發,
是台灣達思與客戶在先進技術中,共同成長的唯一方式。

我們的任務,
是協助台灣元件製造廠提升其綠色製造競爭力。»

沈森永, 達思台灣總經理

环境专家

DAS Environmental Expert

自1997年,達思於台灣地區裝置了第一套半導體廢氣處理設備,迄今,達思在台灣的耕耘已邁入第18年,台灣達思主要針對台灣半導體、光電、TFT 及 LED產業客戶提供廢氣處理系統。
台灣達思以新竹為主要據點,擁有數個技術服務中心以提供客戶端(包括林口、新竹、台中及台南)系統服務和維護。目前達思在台灣的機台裝機量已於2015年第一季超過2000台。
達思在台灣目前擁有超過110名員工,其中80%隸屬於服務和工程團隊,所有服務人員均經過高度專業的培訓,以滿足客戶的嚴苛需求。 達思的目標是針對客戶的製造需求提供協助,以符合必要的環保排放目標,並排除ESH(環境安全衛生)風險。

Terry Tsao 曹世綸
Semi Taiwan
國際半導體協會 台灣區總裁

"台灣達思公司自2010年參與semi綠色製程委員會以來,與委員會成員分享了不少相關理念。我們很高興能有此合作黟伴,達思公司不僅具有綠色製程的理想與概念,也同時具備相關技術與能力去實現此一理想。"


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